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                     產品中心 
                                  
            
  
            

            
	
	

	
            
    
    
            
      
            

        


 


            
  
            
    
            
      
            MiScan 高效混合直寫光刻
            
    
            
    
            
      
            
        
            技術特點
            


              
	
            • 采用大功率405nmLED激光器（選配DPSSL紫外激光器）
              • 
	
            • 最大支持8''基底，支持GDSii、DXF、BMP等文件格式
              • 
	
            • 光刻精度高，最小結構尺寸0.5μm，自動聚焦對準
              • 
	
            • 分區定位，多基片陣列曝光
              • 
	
            • 掃描式曝光、支持灰度曝光
              • 

            


            


             
            
      
            
    
            
  
            


            

      
            
    
            
    
        




      
            


亚洲综合国产一区二区三区

            

              3. <button id="migds"><acronym id="migds"></acronym></button>
              

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